多层不同厚度的单晶薄膜

ED应用大概也占~%单晶片为制造LED基底，也称作衬底，多采用蓝宝石、碳化硅、GaA GaP为材料。外延片为在单晶上生长多层不同厚度的单晶薄膜，如AlGaA AlGaInPGaInN等，用以实现不同颜色或波长的LED罕见的外延方法有液相外延法（LPE气相外延法（VPE以及金属有机化学汽相沉积（MOCVD等，其中VPE和LPE技术都已相当成熟，可用来生长般亮度LED而生长高亮度LED必需采用MOCVD方法。目前全球MOVCD主要制造厂家为德国的AIXPON和美国VEECO，前者约占%~%国际市场份额，后者占据%~%日本厂家生产的设备基本限于日本国内销售。